作者：钨钼云商  发布时间：2022-08-16  点击量：803

溅射靶材是平板显示、新能源及光伏行业不可或缺的重要基材，市场需求量大。为了有效拓展市场，公司成立钼铌合金靶材科研项目团队。经过两年的不懈努力，攻克了大规格钼铌合金靶材制粉、烧结、加工等关键工艺难题，掌握了大尺寸靶材的核心制备技术。

不是每一个设想都能变为现实，不是每一次实验都能获得成功。项目负责人刘仁智说，整个项目研究的过程，就像在荆棘遍地、险象环生的道路上寻找那一缕柳暗花明的亮光。

该项目小组在小规格钼铌靶材的基础上展开了大规格钼铌合金平面靶材、管状靶材的开发。项目组成员通过原料的纯化解决了钼铌合金应用面板行业的第一个“卡脖子”问题——高纯；通过特殊热处理解决了作为阻挡层的钼铌合金能否有效发挥耐湿性的第二个关键问题——均质；通过工艺标准化控制解决了钼铌合金能否成功应用面板行业的问题——大尺寸。

齐心协力，就没有攻克不了的难关。在解决原料的纯化问题时，项目组决定采用高纯CO进行提纯实验。大家白天、黑夜连续奋战了一个星期，收获了不同组分的碳化物，通过一步一步追根溯源的探索实验，最终获得了提纯原料的方法。

科研成果不落地就如水中月、雾中花，转化成一个个市场订单，就是对科研人员最好的回报。2021年开始，项目组利用实验室设备，承接了用户管状靶材的订购需求，并在约定的周期内顺利交付。钼铌靶材认证顺利通过，产品各项指标达到客户最优标准。

如今，技术中心制备的钼铌合金管靶已经通过国内知名半导体及面板企业——映日科技股份有限公司的客户认证，正进行连续订单的生产。8.5代线大尺寸钼铌合金条靶也正在和客户接洽。